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基于光学干涉相位检测的MEMS陀螺信号读出技术研究
中文名称: 基于光学干涉相位检测的MEMS陀螺信号读出技术研究
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论文编号: 4142663收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Study on Signal Readout Technique for MEMS Gyroscope Based on Optical Interference Phase Detection
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 光学工程
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 光学干涉 MEMS陀螺 振动信号 信号细分 判向
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
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       论文发表:快速、低价、包过!发表论文就找论文天下

论文摘要: MEMS陀螺作为一种新型的惯性传感器(略)地应用于军民领域中.MEMS陀螺信号检测的手段有电容检测、压电检测、压阻检测、隧道效应检测和光学检测等几种方法;目前大多采用的是电容检测,但是电容检测的精度已经基本上达到了理论极限,而高精度的MEMS陀螺在市场中很少见到;由于光学检测的方法,特别是干涉法,具有很高的检测精度,将光学干涉检测的方法与MEMS陀螺结合,能够使MEMS陀螺(略)低成本,具有广阔的市场前景,而且现在国内外对这种方法研究很少,对此进行研究具有理论和实际意义;在教育部“高等学校博士学科点专项科研基金”(课题编(略)0191110010)资助下,基于发明专利“双路光干涉的精密光微机(略)本文对基于光学干涉检测的MEMS陀螺信号读出技术做了一些基础工作,主要研究双光干涉对微弱振动信号的检测及信号处理. 首先介绍了MEMS陀螺输出信号的主要检测方法和原理.然后对光学干涉的理论做了简要介绍,讨论了几种常见的光纤干涉仪的信号调制方法,并阐述了干涉信号的零差解调和外差解调两种解调方法.提出系统的整体原理,并对光学部分进行了分析.根据课题(略)元器件进行了选型;设计了半导体激...
As a new type of inertial sensor, MEMS gyroscope has been widely used in the (omitted)military fi(omitted)output signal of most of MEMS gyroscope is d(omitted) capacitive detection(omitted), piezoelectric detection technique, piezoresistive detection technique, tunnel effect detection technique and optical detection technique. Currently, most of MEMS gyroscopes’output signal is detected by capacitive detection technique, but it's difficult to improve the detection accuracy as (omitted)tance detection a...
目录:
中文摘要第3-4页
英文摘要第4-5页
1 绪论第9-13页
  ·课题背景第9页
  ·国内外发展现状第9-11页
  ·课题研究目的与意义第11-12页
  ·本文主要内容第12页
  ·本章小结第12-13页
2 MEMS 陀螺输出信号检测技术第13-19页
  ·MEMS 陀螺原理第13-15页
    ·哥氏(Coriolis)效应第13页
    ·梳状振动式MEMS 陀螺工作原理第13-15页
  ·MEMS 陀螺输出信号的检测方法第15-17页
    ·电容检测第15页
    ·压电检测第15-16页
    ·压阻检测第16页
    ·隧道效应检测第16-17页
    ·光学方法检测第17页
  ·本章小结第17-19页
3 光干涉相位检测技术第19-27页
  ·光干涉原理第19页
  ·全光纤干涉技术第19-21页
  ·光纤干涉信号调制方法第21-24页
  ·光纤干涉信号解调方法第24-26页
    ·零差解调法第25页
    ·外差解调法第25-26页
  ·本章小结第26-27页
4 基于光学干涉技术的 MEMS 陀螺信号读出系统第27-51页
  ·系统整体架构第27-28页
  ·光路分析第28-29页
  ·MEMS 陀螺光学干涉检测原理第29页
  ·元器件选型第29-37页
    ·光源第29-31页
    ·光纤第31-32页
    ·光电探测器第32-33页
    ·光纤耦合器(分路器)第33-34页
    ·振动信号源第34页
    ·总结第34-37页
  ·相关电路设计、仿真与调试第37-48页
    ·半导体激光器驱动电路第37-43页
    ·电流/电压(I/V)转换电路第43-46页
    ·主放大电路第46-48页
  ·光纤探头第48-49页
  ·本章小结第49-51页
5 振动信号数据采集与处理系统第51-71页
  ·数据采集与处理系统整体框图第51页
  ·滤波电路第51-53页
  ·判向与信号细分电路第53-58页
    ·判向与细分的必要性第53-55页
    ·判向与信号细分电路第55-58页
  ·基于单片机的信号处理第58-63页
  ·串口通信第63-64页
  ·基于VC 的数据采集与处理系统第64-69页
    ·串口接收模块第65-66页
    ·数据处理模块第66-67页
    ·数据显示模块第67-68页
    ·数据存储模块第68-69页
  ·本章小结第69-71页
6 实验结果与分析第71-79页
  ·振动信号检测系统实验平台第71页
  ·实验条件第71-73页
  ·实验结果第73-76页
  ·实验分析第76-77页
  ·本章小结第77-79页
7 总结与展望第79-81页
  ·总结第79页
  ·展望第79-81页
致谢第81-83页
参考文献第83-87页
附录 A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录第87页
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