免费论文
收费论文
发表论文
我要投稿
设为首页 招标网
联系我们
经济学|管理学|法学|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多 经济学|管理学|法律|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多
 论文搜索
  推荐服务: 论文发表 收费论文
期刊论文格式
毕业论文格式
期刊论文范文
毕业论文范文
论文致谢
毕业论文答辩
开题报告
论文选题
英文摘要书写
正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究
中文名称: 正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  
论文编号: 3976680收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Research on Vibration Measurement Method of Orthogonal Polarize Laser Interferometer and Its Experiment
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 光学工程
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 干涉仪 琼斯矩阵 最小二乘法 正交偏振 激光干涉仪 非线性误差 光学元件
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  

       论文发表:快速、低价、包过!发表论文就找论文天下

论文简介:在纳米精密定位和位移监测领域中,激光干涉技术是应用最为广泛的一种非接触式精密测量技术,它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线测量、误差修正和控制,因此在精密测量中占据着重要地位。其中非线性误差是影响干涉仪测量精度的主要因素之一,也是本文对干涉仪性能的主要评价方法。 本文研究了一种零差偏振激光干涉仪,它可以用于纳米级的微小位移测量,具有高分辨率、高精度的特点。干涉仪中光学元件的参数误差和位置误差是引入非线性误差的主要原因,也是本文研究的重点。 本文基于偏振光的琼斯矩阵理论,研究了正交偏振激光干涉仪的误差产生原因和作用机理,深入研究了光路的调整及其误差的补偿。主要的研究内容和取得的成果可归纳如下: 首先建立了正交偏振激光干涉仪中光学元件的误差模型,对各偏振元器件对干涉测量的误差影响进行了计算与仿真,其中,各元件中波片对干涉仪系统的影响最大,其参数在1°~5°的误差范围内系统非线性误差最大可达8.8nm。根据仿真所得的误差范围可以选择性能符合实验要求的器件参数,并且其计算结果对光路的调整也具有理论指导作用; 其次在理论分析的基础上选择了性能符合要求的光学元件和机械结构,搭建了正交偏振激光干涉仪的光路系统,在搭建过程中提出了元件参数的在线评价方法,从而简化了干涉仪的搭建过程。根据元件对光路中各处光强的影响和信号构成的李萨如图形,总结出一套干涉仪元器件的调整方法,这种方法可以有效地降低系统的非线性误差。 最后应用调整好的干涉仪进行实际测量,并计算出调整后的系统非线性误差为10nm,较调整前降低了80%,为后续的信号处理提供了良好的测量信号,使干涉仪的测量精度达到了纳米量级。
本类相关论文:
·自混合干涉测速技术研究
·基于FPGA的激光近程动态测距仿真研究
·小型半导体激光测距及应用研究
·强激光与PIN探测器作用表面形貌及损伤研究
·强光与CCD作用响应率改变的机理研究
·激光扫描测量中的光学技术研究
·激光三角法面型测量研究
·激光在线检测晶圆表面质量的研究
·水下目标激光扫描多点三维信息实时显示方法
·基于Nios Ⅱ软核处理器的激光测距系统研究与
干涉仪论文 琼斯矩阵论文
·基于GaAs的非线性干涉仪的研究
·Y型多针孔干涉仪及其在绝对位置坐标测量中的应用
·反辐射无人机无源定位及航迹优化技术研究
·以腔量子电动力学为基础探索新型量子器件
·高光谱分辨率时间调制傅氏变换成像光谱技术研究
·高速光纤通信系统中高阶偏振模色散自适应补偿的研
·别汉棱镜偏振像差检测与校正的方法研究
·薄膜厚度的椭圆偏振光法测量
·ZF-7玻璃线性双折射对光学电流传感器输出性能
最小二乘法论文 激光干涉仪论文
·海洋平台管节点应力集中问题的研究
·函数系数部分线性模型的B样条估计
·地磁活动相关问题研究
·基于机器视觉的齿轮尺寸测量问题研究
·无网格法外掠流场并行数值模拟
·三轴高g值加速传感器灵敏度校准及横向效应研究
·点对点量块自动化检定系统的研究
·基于激光准直原理的多自由度测量系统的研究
·数字式有源零差激光干涉仪的解调方法研究
非线性误差论文 光学元件论文
·人工神经网络技术在光电检测中的应用研究
·复杂曲线曲面位模式插补算法研究
·基于时域反射原理的电缆测长若干关键技术研究
·光纤陀螺寻北仪参数误差分析与补偿方法研究
·基于数字图像处理技术的光学元件表面缺陷检测与分
·X射线成像旋转椭球聚焦镜的设计与检测
·小面型光学元件超精密测量误差分离技术研究
·高功率激光装置光学元件“缺陷”分布与光束近场质
  推荐期刊投稿
·中国工商管理研究
·淮阴师范学院学报(哲学社会科学版
·中国造纸
·致富之友
·临床超声医学杂志
·广东海洋大学学报
·中国自动识别技术
·矿床地质
·开封教育学院学报
·深圳中西医结合杂志
 
·甘肃冶金
·湖北文史
·新疆师范大学学报(自然科学版)
·文史春秋
·眼外伤职业眼病杂志(附眼科手术)
·中国摄影家
·中国女性(中文海外版)
·中国卫生工程学
·中国药物警戒
·化肥标准化与质量监测
 
·硅酸盐通报
·电子商务
·阴山学刊(自然科学版)
·新疆石油地质
·中国科学院上海天文台年刊
·电气传动
·东方电气评论
·石家庄铁道学院学报(社会科学版)
·华东政法大学学报
·全国优秀作文选(高中)
   免费论文
公共管理 | 法学 | 理学 | 医药学
政治 | 社会学 | 文学 | 艺术 | 哲学
工学 | 计算机 | 文化 | 英语论文
经济学 | 财政 税收 | 证券金融
管理学 | 会计审计 | 工商管理 | 教育
财务管理 | 论文写作指导 | 应用文
   收费论文
马列毛邓 | 哲学宗教 | 社会科学
政治法律 | 军 事 | 经 济
文化科学教育体育 | 语言文字
文学 | 艺术 | 历史地理 | 自然科学
数理化 | 天文 | 生物科学 | 医药卫生
农业科学 | 工业技术 | 交通运输
航空航天 | 环境安全
   浏览历史

联系论文网 | 收费论文 | 发表论文 | 论文翻译 | 友情链接 | 全部分类 | 网站地图 | 期刊导航
版权所有 2008-2018 论文天下 www.lunwentianxia.com 京ICP备08104503号