免费论文
收费论文
发表论文
我要投稿
设为首页 招标网
联系我们
经济学|管理学|法学|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多 经济学|管理学|法律|计算机|医学|教育|文学|政治|艺术|哲学|更多
 论文搜索
  推荐服务: 论文发表 收费论文
期刊论文格式
毕业论文格式
期刊论文范文
毕业论文范文
论文致谢
毕业论文答辩
开题报告
论文选题
英文摘要书写
直拉硅单晶中氧沉淀的熟化
中文名称: 直拉硅单晶中氧沉淀的熟化
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  
论文编号: 3729771收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Ostwald Ripening of Oxygen Precipitation in Czochralski Silicon
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 材料科学与工程
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: 直拉硅 氧沉淀 熟化 掺氮 重掺砷 两步热处理 异质形核
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
全文提供: 购买充值卡,就可下载本篇论文全文  

       论文发表:快速、低价、包过!发表论文就找论文天下

论文简介:氧是直拉硅单晶中最重要的非故意掺入的杂质,与此相关的氧沉淀一直是硅材料的重要研究课题。在某一温度下,氧沉淀在达到平衡状态后会出现所谓的“熟化现象”。到目前为止,对这一现象的研究还不够系统深入。此外,掺氮对直拉硅氧沉淀熟化的影响还有待揭示。本论文在借助傅立叶红外光谱(FTIR)和择优腐蚀结合光学显微术的基础上,利用扫描红外显微术(SIRM)对掺氮和普通直拉硅片经低温和高温两步退火的氧沉淀的熟化现象进行了对比研究,得到如下主要结果: 研究了普通直拉(CZ)硅单晶和掺氮直拉(NCZ)硅单晶经800℃/8 h和1000℃/X h(X=4、8、16、32、64、128、256)两步热处理后的氧沉淀行为。结果表明:CZ硅单晶在1000℃热处理64 h后出现氧沉淀的熟化,而NCZ硅单晶中氧沉淀的熟化则在1000℃热处理32 h后即可发生,这表明氮加速了直拉硅单晶中氧沉淀的熟化过程。这是由于氮的引入提供了氧沉淀的异质形核中心,使得NCZ硅单晶在低温热处理时形成的氧沉淀核心显著增多,因而在高温热处理时氧沉淀在较短的时间内即可达到平衡状态而进入熟化过程。SIRM明确地显示氧沉淀进入熟化过程后,小尺寸的氧沉淀被消融而大尺寸氧沉淀进一步长大并诱生出二次缺陷。氧沉淀与基体间的界面能的降低被认为是氧沉淀熟化过程的驱动力。 研究了普通的和掺氮的重掺砷直拉硅单晶经650℃/8 h和1000℃/X h(X=4、8、16、32、64、128、256)两步热处理后的氧沉淀行为。研究表明,与普通重掺砷直拉硅单晶相比,掺氮的重掺砷直拉硅单晶中的氧沉淀密度显著增加而尺寸减小;并且氧沉淀的熟化提前16小时发生。此外,掺氮的重掺砷直拉硅单晶中的氧沉淀的尺寸分布更加均匀。分析认为,在650℃热处理时,掺氮的重掺砷直拉硅单晶中会形成氮氧复合体,它们作为氧沉淀的异质形核中心使氧沉淀核心的密度增加,因而加速了后续1000℃热处理时的氧沉淀及其熟化过程。
本类相关论文:
·空位对直拉硅单晶中氧沉淀形核的作用
·大直径CZ硅单晶中流动图形缺陷(FPDs)的研
·Φ200mm低氧碳CZSi单晶的制备及计算机数
·单晶硅自停止腐蚀工艺研究
·氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关
·薄层硅外延材料的研究
·多孔硅电致发光特性研究
·用经验紧束缚近似方法研究硅表面氢化特性及其对同
·线锯切割单晶硅的应力场及损伤层研究
·半绝缘SiC单晶电学参数的测量技术研究
直拉硅论文 氧沉淀论文
·直拉单晶硅的晶体生长及缺陷研究
·直拉单晶硅中铜沉淀及其复合活性
·快速热处理对直拉单晶硅中氧沉淀和内吸杂的影响
·掺锗直拉硅中的杂质缺陷及其光伏应用研究
·大规模集成电路用同族元素掺杂直拉硅单晶的微缺陷
·高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响
·杂质对直拉硅单晶力学性能的影响
·直拉单晶硅的晶体生长及缺陷研究
·重掺锑直拉硅单晶的氧沉淀行为
·高能粒子辐照单晶硅辐照效应的研究
熟化论文 掺氮论文
·黑蒜加工工艺的研究
·对苯二甲酸生产过程中杂质去除方法研究
·粗对苯二甲酸熟化过程研究
·维生素E、硒对熟化及贮存过程中牛肉氧化稳定性的
·直拉单晶硅的晶体生长及缺陷研究
·直拉单晶硅中铜沉淀及其复合活性
·掺氮氧化锌薄膜的制备和p型转变研究
·可见光响应型光催化降膜反应器的开发及其应用研究
·掺氮二氧化钛/炭纳米纤维异质光催化剂的制备及其
异质形核论文  
·金属形核及固/液界面能的分子动力学模拟
·Mg-Al系合金晶粒细化机理研究
·几种含硅合金中富硅相形核与生长机制的研究
·多元Ni基合金的深过冷与快速枝晶生长研究
 
  推荐期刊投稿
·内科
·有色金属设计
·北京农业
·河南商业高等专科学校学报
·山东省农业管理干部学院学报
·中国民用航空
·徐州医学院学报
·真空科学与技术学报
·China Today
·中华航海医学与高气压医学杂志
 
·焊接
·管理与技术
·北方人
·中国档案
·低温建筑技术
·中国水土保持科学
·红岩春秋
·广州环境科学
·中国科技投资
·水利水电
 
·中国自然医学杂志
·中国劳动保障
·Journal of Tradition
·天津汽车
·药学服务与研究
·临床放射学杂志
·农村科技
·福建地质
·小城镇建设
·教育研究与实验
   免费论文
公共管理 | 法学 | 理学 | 医药学
政治 | 社会学 | 文学 | 艺术 | 哲学
工学 | 计算机 | 文化 | 英语论文
经济学 | 财政 税收 | 证券金融
管理学 | 会计审计 | 工商管理 | 教育
财务管理 | 论文写作指导 | 应用文
   收费论文
马列毛邓 | 哲学宗教 | 社会科学
政治法律 | 军 事 | 经 济
文化科学教育体育 | 语言文字
文学 | 艺术 | 历史地理 | 自然科学
数理化 | 天文 | 生物科学 | 医药卫生
农业科学 | 工业技术 | 交通运输
航空航天 | 环境安全
   浏览历史

联系论文网 | 收费论文 | 发表论文 | 论文翻译 | 友情链接 | 全部分类 | 网站地图 | 期刊导航
版权所有 2008-2018 论文天下 www.lunwentianxia.com 京ICP备08104503号