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二氧化钒薄膜的相变性能研究
中文名称: 二氧化钒薄膜的相变性能研究
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论文编号: 3691325收藏本论文】【我的收藏】【我要投稿
英文名称: Research on Phase Transition Property of Vanadium Dioxide Thin Films
学位类型: 硕士毕业论文
作者: 涉及隐私,隐去***  作者本人请参看权力声明>>
导师: 涉及隐私,隐去***
毕业学校: 涉及隐私,隐去***
专业: 钢铁冶金
毕业年份: 涉及隐私,隐去***
关键字: VO_2薄膜 V_5O_5薄膜 无机溶胶-凝胶法 电阻突变性能 溶胶凝胶法 二氧化钒薄膜 功能材料
简介目录: 点击此处 免费索取本论文简介和目录>>
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论文简介:VO2薄膜是一种功能材料,由于其独特的性质,在很多领域内具有潜在的应用价值。近年来VO2研究有了飞速的发展,尤其是VO2薄膜制备技术得到了进一步的发展,一些新的制备技术如有机溶胶—凝胶法、脉冲激光沉淀技术、MOCVD法都制备出了高性能的VO2薄膜。但是这些制备技术都具有一些缺点,例如它们使用市场上不易购买、价格昂贵的金属钒、纯的V2O5和钒的醇盐作为原料,而后者甚至十分不稳定,迄今为止,还不见有研究者使用工业V2O5作为原料,研究制备性能优良的VO2薄膜。在工业V2O5大量存在,价格便宜的情况下,例如攀钢年产工业V2O56000吨,居国内第一位,且其用途局限于钢铁工业(约占85%)和化学工业(约占15%),因此探讨用攀钢工业V2O5产品制备用途广泛的VO2薄膜材料,并研究其性能,就显得非常迫切和必要。 本论文采用无机溶胶—凝胶法制备VO2薄膜,并对以下方面进行了研究。 ⒈制备较优VO2薄膜的工艺参数范围。 ⒉本论文使用三组正交实验设计制备了几组薄膜,并研究了制备VO2薄膜过程中真空热处理或H2还原过程中,热处理温度、热处理时间、薄膜厚度对薄膜电阻突变数量级的影响。 ⒊用几种分析手段(扫描电镜、TG和DSC分析、XRD分析)分别对V2O5薄膜、V2O5凝胶以及VO2薄膜进行了研究。 ⒋论文还对无机溶胶—凝胶法和其它几种较常使用的制备技术进行了较为全面的比较。 通过研究,制备出了相变性能较优的VO2薄膜,其相变温度约为35℃,比纯VO2薄膜的相变温度(68℃)低33℃,相变电阻突变数量级为2~3个,相变滞后温度为1~2℃,达到了国际上用纯含钒原料制备的同类薄膜电阻率突变水平。
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